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1.单机产能达到8000片/H 2.线宽解析35um/35um、解析精度±10% 3.采用接近式高精密光学系统，无需高昂价格的投影镜头，维护简单，稳定可靠，性价比高 4.高精密机械及运动控制技术，实现极小掩膜间隙下安全量产 5.带有恒温恒湿系统，保持±0.5℃设备恒温环境，保障稳定运行 6.智能化软件设计，设备运行各项性能实时监测 7.人性化作业空间设计，方便操作及维护 8.高达230x120mm大幅面曝光面积，硅片一次性曝光完成，无需拼接图形，稳定可靠
设备由两部分组成，即：预贴段：系统自动控制将干膜裁切至预设大小并预贴在基板两面，以进行之后的真空贴膜。真空贴膜段（一次压合）：加压前先进行抽真空以防止压膜时形成空洞，并达至良好的填充效果。
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本装置为自动贴撕膜装置。本装置是通过光纤传感器感应板边自动对中，完成搓膜、剥膜、撕膜后自动存储在废料兜中，撕膜的完整性有光电传感器自动检测，有效防止撕膜过程中的撕膜不净问题。
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广东思沃先进装备有限公司
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