高精度: 本设备可实现表面保护胶膜高精度贴合;
全自动: 利用多轴机器人进行晶圆搬运及胶膜切割,通过视觉定位校准机构、胶膜张力控制机构等实现表面保护胶膜高精度贴合功能;
高效率: 标准配置为双上料机构,双料盒待料,节省待料切换时间;
省耗材: 通过减少无效膜材的浪费,实现每卷胶膜的晶圆贴片数量最多可提高15%。
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